会社概要
クリーンルームは、クリーンルームパーティションで壁・天井と床材を構成して、ＨＥＰＡフィルター（超高性能フィルター）を通過した清浄な空気を絶えず供給して部屋内を循環させ、清浄な空間を作り出します。
- HEPAフィルタで、空気を浄化します。
- 浄化した空気を部屋一面に拡散させます。
- 拡散させた空気を空調機内に取込みます。
- 取込んだ空気をプレフィルタで、一時濾過します。
- プレフィルタで一時濾過された空気を循環ファンでHEPAフィルタに送ります。
- 室圧を陽圧にするために、外気を一部取り入れます。
まず、最初に循環サイクル・エアーでクリーンルームを形成します。
0.3μm以上の大きさの粒径を99.99%の捕集効率を有するＨＥＰＡフィルターにて空気中のゴミや微粒子を捕集して清浄した空気をクリーンルーム室内いっぱいに拡散させます。拡散した室内の空気を空調機の吸い込みに空気を還させます。この流れを循環ファンにて循環サイクルを形成します。
次に、クリーンルーム室内に外部からの汚染の流入を防ぐためにクリーンルームの室内を陽圧に保たせなければなりません。
陽圧を保つために、外気処理をした空気をHEPAフィルターの一次側である空調機本体に取入れて循環エアーと混合します。取り入れる外気処理した空気量と同様の空気量を排出することで陽圧を保ちます。
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